Intel和IBM都需要借助High-k和金属栅极(metal gate)技术才达到高效的32nm制程,而台积电尤其独到之处,他们不需要这两种技术的帮助就可达到32nm制程的需求。试产的这块高密度SRAM面积仅0.15平方微米,采用193nm浸润式(immersion lithography)双重曝光(double patterning)技术制成。
台积电表示,他们的32nm制程技术具有低能耗、支持模拟和射频、铜导线和低介电常数(low-k)材料导线等优势,非常适合于生产便携产品所需的芯片产品。
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| 台积电研发团队 |