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对于A4、A3幅面的扫描仪来说，光源有：冷阴极荧光灯、RGB三色发光二极管（即LED），少部分扫描仪采用了卤素灯光源。 而对于大幅扫描仪来说，光源基本上为冷极荧火灯。与用在A4、A3幅面上冷极荧火灯相比来说，只是性能好了许多，而且价格昂贵。
冷阴极荧光灯具有体积小、亮度高、寿命长的特点，但工作前需要预热。该类光源已经广泛应用于平板式扫描仪中。
发光二极管功耗小，噪音低，发热量小，且无需预热，但亮度低，亮度均匀性略差，寿命一般也比较短（一些CIS型扫描仪采用了此类光源）。
卤素灯多应用于一些高端平板式扫描仪乃至某些胶片扫描仪中，亮度非常高，预热时间短，而且维护、更换容易，但它的发热量也较高，使用一定时间后即可能出现衰减。
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